Zgodnie z międzynarodową praktyką poziom oczyszczania bezpyłowego określa się głównie na podstawie liczby cząstek w powietrzu, których średnica jest większa niż norma klasyfikacyjna na metr sześcienny.To znaczy tak zwany bezpyłowy nie jest w 100% pozbawiony odrobiny kurzu, ale kontrolowany w bardzo małej ilości jednostek.Oczywiście cząsteczki spełniające normę pyłu w tym standardzie są bardzo małe w porównaniu do naszego zwykłego pyłu, ale w przypadku struktur optycznych nawet niewielka ilość pyłu będzie miała bardzo duży negatywny wpływ, więc przy produkcji produktów o strukturze optycznej pył- wolny jest nieuniknionym wymogiem.
Liczba cząstek o wielkości poniżej 0,5 mikrona jest kontrolowana do mniej niż 3500 na metr sześcienny, co osiągnęło międzynarodowy poziom bezpyłowego A.Standardy bezpyłowe stosowane obecnie w produkcji i przetwarzaniu na poziomie chipów mają wyższe wymagania dla pyłu niż klasa A, a tak wysokie standardy są stosowane głównie w produkcji niektórych chipów o wyższym poziomie.Ilość drobnego pyłu jest ściśle kontrolowana w granicach 1000 na metr sześcienny, co jest powszechnie znane w przemyśle jako poziom 1K.
1. Komora, materiał sufitu, wysokość sufitu;
2. Materiał podłogowy;
3. Czy jest to stała temperatura i wilgotność;
4. Czy wymagane jest powietrze wywiewane;
5. Całkowita liczba osób w warsztacie;
6. Wartość opałowa wyposażenia technologicznego warsztatu;
I tak dalej szereg parametrów.
Normy dla pomieszczeń czystych klasy 100 000 to:
Maksymalna dopuszczalna ilość pyłu (na metr sześcienny);
Liczba cząstek większych lub równych 0,5 mikrona nie przekracza 3 500 000, a liczba cząstek większych lub równych 5 mikronów nie przekracza 20 000;
Maksymalna dopuszczalna liczba mikroorganizmów;
Liczba bakterii nie przekracza 500 na metr sześcienny;
Liczba osiadłych bakterii nie powinna przekraczać 10 na płytkę Petriego.
Różnica ciśnień: Różnica ciśnień pomiędzy czystymi pomieszczeniami o tym samym poziomie czystości powinna być stała.Różnica ciśnień pomiędzy sąsiednimi pomieszczeniami czystymi o różnych stopniach czystości powinna wynosić ≥5Pa, a różnica ciśnień pomiędzy pomieszczeniami czystymi i nieczystymi powinna wynosić ≥10Pa.
Kiedy w bezpyłowym warsztacie na 100 000 poziomów nie ma specjalnych wymagań dotyczących temperatury i wilgotności, należy nosić czystą odzież roboczą bez poczucia komfortu.Temperatura jest zwykle kontrolowana w zimie na poziomie 20 ~ 22 ℃;24~26℃ latem;wahania ± 2 ℃.Wilgotność w pomieszczeniu czystym zimą jest kontrolowana na poziomie 30-50%, a wilgotność w pomieszczeniu czystym latem na poziomie 50-70%.
kontrola hałasu
1. Podczas próby dynamicznej poziom hałasu w pomieszczeniu czystym klasy 10 000 nie powinien przekraczać 70 dBA.
2. Podczas testu statycznego poziom hałasu w turbulentnym pomieszczeniu czystym o poziomie 10 000 nie powinien przekraczać 60 dBA.
organizacja przepływu powietrza
Główna metoda zasilania powietrzem stosowana w warsztacie bezpyłowym na poziomie 100 000;
1. Częściowy nawiew powietrza w suficie;
2. Wysokowydajny filtr powietrza z płytą dyfuzora do nawiewu powietrza z sufitu;
3. Trzy rodzaje nawiewu, w tym nawiew powietrza na górnej ścianie bocznej.
1. Umieścić wylot powietrza powrotnego w dolnej części pojedynczej ściany bocznej;2. W przypadku korzystania z powietrza powrotnego z korytarza należy rozmieścić wylot powietrza powrotnego równomiernie na korytarzu lub ustawić wylot powietrza powrotnego centralnie na końcu korytarza.
Prędkość wylotu powietrza m/s:
1. Kryza 3 ~ 5 płytki z otworem，
2. Boczny wylot powietrza:
(1) Dołącz dysze 2 do 5，
(2) W przypadku dysz niepodłączonych powietrze powrotne w dolnej części tej samej ściany bocznej wynosi 1,5~2,5, a powietrze powrotne w dolnej części przeciwległej ściany bocznej wynosi 1,0~1,5.
Prędkość powietrza powrotnego (m/s):
1. Wylot powietrza powrotnego z pomieszczenia czystego wynosi nie więcej niż 2,
2. Wylot powietrza powrotnego na korytarzu ma nie więcej niż 4.
1. Cel
Ustal standardowe procedury operacyjne dla personelu wchodzącego i wychodzącego z pomieszczenia czystego o poziomie 100 000, aby zapewnić, że pomieszczenie czyste nie jest zanieczyszczone przez personel.
2. obszar
Wejście i wyjście 100-tysięcznego personelu warsztatów bezpyłowych, w tym operatorów produkcji, personelu utrzymania ruchu i kadry zarządzającej.
3 obowiązki
3.1 Cały personel wchodzący i wychodzący z warsztatu bezpyłowego o poziomie 100 000 będzie odpowiedzialny za tę procedurę operacyjną.
3.2 Za nadzór i kontrolę odpowiada kierownik zespołu warsztatu bezpyłowego oraz personel kontroli jakości na miejscu.
4 Treść
4.1 Wejdź do drzwi czystego pomieszczenia i odłóż sprzęt przeciwdeszczowy i przedmioty w określonej pozycji.
4.2 Zmień kapcie.W miejscu zmiany butów usiądź na stołku, zdejmij domowe buty, włóż je do szafki na buty, obróć o 180 stopni, wyjmij własne kapcie na górnej warstwie szafki i załóż je.
4.3 Zmiana odzieży roboczej.Wejdź do biura ogólnego miejsca pracy, zdejmij ubranie pracownika i przebierz się w ubranie robocze.
4.4 Umyj ręce.Postępuj zgodnie z procedurą mycia rąk, aby umyć ręce.
4.5 Zmień na buty robocze.Wejdź do drzwi pokoju na buty, usiądź na ławce, zwróć się twarzą do drzwi, zdejmij kapcie, włóż kapcie do dolnej warstwy szafki na buty, wyjmij buty robocze z górnej warstwy szafki na buty, usiądź i obróć się o 180 stopni plecami do drzwi i załóż je.
4.6 Umyć ręce i wysuszyć.
4.6.1 Zmocz ręce wodą do 10 cm powyżej nadgarstka w zlewie, umyj detergentem, napełnij 10 cm skórę dłoni i nadgarstków pianką i pocieraj przez około 15 sekund.
4.6.2 Opłucz ręce wodą, opłucz namoczony ryż na dłoniach, obróć ręce w górę iw dół i pocieraj, aż nie będą tłuste.
4.6.3 Sprawdź wzrokowo, czy ręce są czyste.
4.6.4 Wyciągnij dłoń do 8~10 cm poniżej dłoni suszarki i wysusz ją, aż będzie sucha.
4.7 Zmień na czystą bieliznę.Zdejmij ubranie robocze i włóż je do osobistej szafki.Zdejmij czapkę roboczą, odzież roboczą i spodnie robocze z osobistym numerem z haczyka ściennego w szatni i załóż je.Zakładaj ją w kolejności od góry do dołu, czyli najpierw załóż czapkę, maskę, potem górę, a potem spodnie.Zwróć uwagę, aby zawiązać wszystkie góry w kieszeniach spodni, wsunąć wszystkie włosy do czapek i sprawdzić, czy płaszcze i czapki są schludne.
4.8 Myć ręce i dezynfekować.
4.8.1 Zmocz ręce wodą do 10 cm nad nadgarstkiem w zlewie, umyj detergentem, napełnij 10 cm skórę dłoni i nadgarstków pianką i pocieraj przez około 15 sekund.
4.8.2 Opłucz ręce wodą, opłucz namoczony ryż na dłoniach, obróć ręce w górę iw dół i pocieraj, aż nie będą tłuste.
4.8.3 Wzrokowo sprawdzić, czy ręce są czyste.
4.8.4 Dezynfekcja.Namocz ręce do 10 cm powyżej nadgarstka w środku dezynfekującym zawierającym chlor przez 30 sekund.
4.8.5 Wyciągnij dłoń do 8~10 cm poniżej dłoni suszarki i wysusz dłoń, aż będzie sucha.
4.9 Noś kombinezon.Usuń jedną witrynę z indywidualnym numerem z szafy.Noś je od dołu do góry, uważając, aby kombinezon nie dotykał podłoża.
4.10 Odbiór i dezynfekcja.Wciśnij drzwi do pomieszczenia buforowego, włóż ręce pod automatyczny rozpylacz indukcyjny wypełniony 75% etanolem, spryskaj do dezynfekcji, potrząśnij rękami i pozostaw etanol do wyschnięcia.
4.11 Wejdź do czystego pokoju.Otwórz drzwi komory buforowej i wejdź do strefy wolnej od kurzu.
4.12 Kiedy personel opuszcza czysty obszar, postępuj zgodnie z odwrotną procedurą wchodzenia do czystego obszaru.Pamiętaj, że przeciągając ubrania robocze, rozbieraj się od dołu do góry.
4.13 Goście z zewnątrz muszą być zatwierdzeni przez fabrykę i pod kierownictwem i nadzorem personelu zarządzającego warsztatem wchodzić i wychodzić z warsztatu bezpyłowego zgodnie z zalecanymi procedurami.Goście zagraniczni muszą ściśle przestrzegać regulaminu zarządzania warsztatem.W okresie produkcji pomieszczenia czystego odwiedzający z zewnątrz nie mają wstępu.
Zgodnie z międzynarodową praktyką poziom oczyszczania bezpyłowego określa się głównie na podstawie liczby cząstek w powietrzu, których średnica jest większa niż norma klasyfikacyjna na metr sześcienny.To znaczy tak zwany bezpyłowy nie jest w 100% pozbawiony odrobiny kurzu, ale kontrolowany w bardzo małej ilości jednostek.Oczywiście cząsteczki spełniające normę pyłu w tym standardzie są bardzo małe w porównaniu do naszego zwykłego pyłu, ale w przypadku struktur optycznych nawet niewielka ilość pyłu będzie miała bardzo duży negatywny wpływ, więc przy produkcji produktów o strukturze optycznej pył- wolny jest nieuniknionym wymogiem.
Liczba cząstek o wielkości poniżej 0,5 mikrona jest kontrolowana do mniej niż 3500 na metr sześcienny, co osiągnęło międzynarodowy poziom bezpyłowego A.Standardy bezpyłowe stosowane obecnie w produkcji i przetwarzaniu na poziomie chipów mają wyższe wymagania dla pyłu niż klasa A, a tak wysokie standardy są stosowane głównie w produkcji niektórych chipów o wyższym poziomie.Ilość drobnego pyłu jest ściśle kontrolowana w granicach 1000 na metr sześcienny, co jest powszechnie znane w przemyśle jako poziom 1K.
1. Komora, materiał sufitu, wysokość sufitu;
2. Materiał podłogowy;
3. Czy jest to stała temperatura i wilgotność;
4. Czy wymagane jest powietrze wywiewane;
5. Całkowita liczba osób w warsztacie;
6. Wartość opałowa wyposażenia technologicznego warsztatu;
I tak dalej szereg parametrów.
Normy dla pomieszczeń czystych klasy 100 000 to:
Maksymalna dopuszczalna ilość pyłu (na metr sześcienny);
Liczba cząstek większych lub równych 0,5 mikrona nie przekracza 3 500 000, a liczba cząstek większych lub równych 5 mikronów nie przekracza 20 000;
Maksymalna dopuszczalna liczba mikroorganizmów;
Liczba bakterii nie przekracza 500 na metr sześcienny;
Liczba osiadłych bakterii nie powinna przekraczać 10 na płytkę Petriego.
Różnica ciśnień: Różnica ciśnień pomiędzy czystymi pomieszczeniami o tym samym poziomie czystości powinna być stała.Różnica ciśnień pomiędzy sąsiednimi pomieszczeniami czystymi o różnych stopniach czystości powinna wynosić ≥5Pa, a różnica ciśnień pomiędzy pomieszczeniami czystymi i nieczystymi powinna wynosić ≥10Pa.
Kiedy w bezpyłowym warsztacie na 100 000 poziomów nie ma specjalnych wymagań dotyczących temperatury i wilgotności, należy nosić czystą odzież roboczą bez poczucia komfortu.Temperatura jest zwykle kontrolowana w zimie na poziomie 20 ~ 22 ℃;24~26℃ latem;wahania ± 2 ℃.Wilgotność w pomieszczeniu czystym zimą jest kontrolowana na poziomie 30-50%, a wilgotność w pomieszczeniu czystym latem na poziomie 50-70%.
kontrola hałasu
1. Podczas próby dynamicznej poziom hałasu w pomieszczeniu czystym klasy 10 000 nie powinien przekraczać 70 dBA.
2. Podczas testu statycznego poziom hałasu w turbulentnym pomieszczeniu czystym o poziomie 10 000 nie powinien przekraczać 60 dBA.
organizacja przepływu powietrza
Główna metoda zasilania powietrzem stosowana w warsztacie bezpyłowym na poziomie 100 000;
1. Częściowy nawiew powietrza w suficie;
2. Wysokowydajny filtr powietrza z płytą dyfuzora do nawiewu powietrza z sufitu;
3. Trzy rodzaje nawiewu, w tym nawiew powietrza na górnej ścianie bocznej.
1. Umieścić wylot powietrza powrotnego w dolnej części pojedynczej ściany bocznej;2. W przypadku korzystania z powietrza powrotnego z korytarza należy rozmieścić wylot powietrza powrotnego równomiernie na korytarzu lub ustawić wylot powietrza powrotnego centralnie na końcu korytarza.
Prędkość wylotu powietrza m/s:
1. Kryza 3 ~ 5 płytki z otworem，
2. Boczny wylot powietrza:
(1) Dołącz dysze 2 do 5，
(2) W przypadku dysz niepodłączonych powietrze powrotne w dolnej części tej samej ściany bocznej wynosi 1,5~2,5, a powietrze powrotne w dolnej części przeciwległej ściany bocznej wynosi 1,0~1,5.
Prędkość powietrza powrotnego (m/s):
1. Wylot powietrza powrotnego z pomieszczenia czystego wynosi nie więcej niż 2,
2. Wylot powietrza powrotnego na korytarzu ma nie więcej niż 4.
1. Cel
Ustal standardowe procedury operacyjne dla personelu wchodzącego i wychodzącego z pomieszczenia czystego o poziomie 100 000, aby zapewnić, że pomieszczenie czyste nie jest zanieczyszczone przez personel.
2. obszar
Wejście i wyjście 100-tysięcznego personelu warsztatów bezpyłowych, w tym operatorów produkcji, personelu utrzymania ruchu i kadry zarządzającej.
3 obowiązki
3.1 Cały personel wchodzący i wychodzący z warsztatu bezpyłowego o poziomie 100 000 będzie odpowiedzialny za tę procedurę operacyjną.
3.2 Za nadzór i kontrolę odpowiada kierownik zespołu warsztatu bezpyłowego oraz personel kontroli jakości na miejscu.
4 Treść
4.1 Wejdź do drzwi czystego pomieszczenia i odłóż sprzęt przeciwdeszczowy i przedmioty w określonej pozycji.
4.2 Zmień kapcie.W miejscu zmiany butów usiądź na stołku, zdejmij domowe buty, włóż je do szafki na buty, obróć o 180 stopni, wyjmij własne kapcie na górnej warstwie szafki i załóż je.
4.3 Zmiana odzieży roboczej.Wejdź do biura ogólnego miejsca pracy, zdejmij ubranie pracownika i przebierz się w ubranie robocze.
4.4 Umyj ręce.Postępuj zgodnie z procedurą mycia rąk, aby umyć ręce.
4.5 Zmień na buty robocze.Wejdź do drzwi pokoju na buty, usiądź na ławce, zwróć się twarzą do drzwi, zdejmij kapcie, włóż kapcie do dolnej warstwy szafki na buty, wyjmij buty robocze z górnej warstwy szafki na buty, usiądź i obróć się o 180 stopni plecami do drzwi i załóż je.
4.6 Umyć ręce i wysuszyć.
4.6.1 Zmocz ręce wodą do 10 cm powyżej nadgarstka w zlewie, umyj detergentem, napełnij 10 cm skórę dłoni i nadgarstków pianką i pocieraj przez około 15 sekund.
4.6.2 Opłucz ręce wodą, opłucz namoczony ryż na dłoniach, obróć ręce w górę iw dół i pocieraj, aż nie będą tłuste.
4.6.3 Sprawdź wzrokowo, czy ręce są czyste.
4.6.4 Wyciągnij dłoń do 8~10 cm poniżej dłoni suszarki i wysusz ją, aż będzie sucha.
4.7 Zmień na czystą bieliznę.Zdejmij ubranie robocze i włóż je do osobistej szafki.Zdejmij czapkę roboczą, odzież roboczą i spodnie robocze z osobistym numerem z haczyka ściennego w szatni i załóż je.Zakładaj ją w kolejności od góry do dołu, czyli najpierw załóż czapkę, maskę, potem górę, a potem spodnie.Zwróć uwagę, aby zawiązać wszystkie góry w kieszeniach spodni, wsunąć wszystkie włosy do czapek i sprawdzić, czy płaszcze i czapki są schludne.
4.8 Myć ręce i dezynfekować.
4.8.1 Zmocz ręce wodą do 10 cm nad nadgarstkiem w zlewie, umyj detergentem, napełnij 10 cm skórę dłoni i nadgarstków pianką i pocieraj przez około 15 sekund.
4.8.2 Opłucz ręce wodą, opłucz namoczony ryż na dłoniach, obróć ręce w górę iw dół i pocieraj, aż nie będą tłuste.
4.8.3 Wzrokowo sprawdzić, czy ręce są czyste.
4.8.4 Dezynfekcja.Namocz ręce do 10 cm powyżej nadgarstka w środku dezynfekującym zawierającym chlor przez 30 sekund.
4.8.5 Wyciągnij dłoń do 8~10 cm poniżej dłoni suszarki i wysusz dłoń, aż będzie sucha.
4.9 Noś kombinezon.Usuń jedną witrynę z indywidualnym numerem z szafy.Noś je od dołu do góry, uważając, aby kombinezon nie dotykał podłoża.
4.10 Odbiór i dezynfekcja.Wciśnij drzwi do pomieszczenia buforowego, włóż ręce pod automatyczny rozpylacz indukcyjny wypełniony 75% etanolem, spryskaj do dezynfekcji, potrząśnij rękami i pozostaw etanol do wyschnięcia.
4.11 Wejdź do czystego pokoju.Otwórz drzwi komory buforowej i wejdź do strefy wolnej od kurzu.
4.12 Kiedy personel opuszcza czysty obszar, postępuj zgodnie z odwrotną procedurą wchodzenia do czystego obszaru.Pamiętaj, że przeciągając ubrania robocze, rozbieraj się od dołu do góry.
4.13 Goście z zewnątrz muszą być zatwierdzeni przez fabrykę i pod kierownictwem i nadzorem personelu zarządzającego warsztatem wchodzić i wychodzić z warsztatu bezpyłowego zgodnie z zalecanymi procedurami.Goście zagraniczni muszą ściśle przestrzegać regulaminu zarządzania warsztatem.W okresie produkcji pomieszczenia czystego odwiedzający z zewnątrz nie mają wstępu.
